等離子清洗機的優(yōu)勢：

1：真空度：用皮拉尼原理測量精確到Pa，千帕是用壓力規測試，不是一個(gè)量級的。

2：傳感器：用的進(jìn)口的氣體流量傳感器，是質(zhì)量流量計檢測氣體，精確度是通入流量的±1.5%。浮子流量計，是滿(mǎn)量程的4%，而且浮子球是上下浮動(dòng)，手碰一下亂跑，真實(shí)效果達不了那么高。

4：功率是150W，國內都是統一的。

5：2路流量計，質(zhì)量流量計采集更精準，流量控制 2個(gè)精密針閥調節，線(xiàn)性調節度較好。

6： 真空采集皮拉尼原理真空計，測量大氣壓到0.1Pa的絕對真空。   

7： 通過(guò)精準的流量檢測及真空采集 使自動(dòng)控制一氣呵成，通過(guò)檢測固定的真空值讓射頻輝光，即使是手動(dòng)匹配射頻電源，也只需要匹配一次，下次相同工藝，基本不需要再次調節匹配 。

問(wèn)：清洗光刻膠可以嗎？

答：簡(jiǎn)單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉，光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過(guò)泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。

問(wèn)：可以去除表面雜質(zhì)和一些膠嘛？

答：這個(gè)就是清洗半導體芯片表面纏雜的膠和雜質(zhì)，可以去除納米級別的微小的膠和其它顆粒或者薄膜。

問(wèn)：操作方便嘛

答：操作很方便。開(kāi)關(guān)打開(kāi)后，石英腔體抽真空，然后產(chǎn)生等離子，等離子和表面的污染物產(chǎn)生反應，產(chǎn)生廢氣，真空泵把廢氣抽走，等離子清洗機里面有一個(gè)托盤(pán)，咱們把產(chǎn)品放托盤(pán)上面，就可以清洗了。